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特种气体的杂*测和监控

随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从zui早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。

特种气体的杀菌

影响灭菌的因素　　

温度：

　　温度的常规极限一般在37℃～63℃，较1常用的温度一般为50±5℃。但是当温度高到足以使药1物发挥较1大作用时，在升高温度，则杀菌效果亦不再提高。灭菌温度的确定同以下条件有关：1）所灭产品的温度耐受性。2）装载量及装载方式，要求装载量≤80%，电子特种气体，不接触柜壁，特种气体生产厂家，各箱体之间有不小于5cm的间隙。3）包装材料的厚度、大小，堆积密度。

特种气体的分类

特种气体的分类方式很多种，特种气体供应商，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，合肥特种气体，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。