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特种气体管道

气体渗透性：

气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。 因为空气中氧气和分压力较1大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和的渗透 ， 一般对氧气的渗透测试比较多。

特气管道试压

　　1、管道试压前应全1面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，质量应符合设计要求及技术规范的规定。

　　2、管道试压应编制试验方案，根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向大气的无压管线，如放空管、排液管等可不进行试压。

特种气体管道试压

1、试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管。

2、管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启;系统较1高点应设放气阀，较1低点应设排水阀。

3、试压时，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，表的量程应为较1大被测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力波动较小的其他位置。

特种气体的介绍

特种气体用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。

特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所**的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。